Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ MEMS
- Nhan đề :
-
Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ MEMS
- Tác giả :
-
Trần Văn Quân;Bùi Hữu Nam;Nguyễn Tiến Dũng
- Từ khóa :
-
Vi mô tơ nhiệt,Bộ kích hoạt nhiệt điện,Công nghệ vi cơ khối
Tải file tóm tắt
Vi mô tơ nhiệt - điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ MEMS